3-1. Final Sorter

8 Load Port, 7 Load Port-1F, 4/2 Load Port IWS-3000-8L(8つのロードポート), IWS-3000-7L1F(7つのロードポート1つの反転機) フリップロボットを適用しウェハを反転させることができます。 Open Cassette, FOSB, FOUPの全てのタイプに対応しており、使われるキャリアタイプ(Open, FOSB, FOUP)を自動的に区別し、オペレーターによるミスを防止します。

IWS-3000(8Load Port)

IWS-3000(7Load Port 1Flipper)

IMS-3000(4Load Port)

IMS-3000(2Load Port)

IWS-3000(8Load Port) ｜ IWS-3000(7Load Port 1Flipper) ｜ IMS-3000(4Load Port) ｜ IMS-3000(2Load Port)

3-2. Cu-haze, Edge/DSOD, Edge/Cu-haze

CHAC-3000, EDIS-3000, ECIS-3000はSi WaferのEdge欠陥及びSurfaceのHaze Pattern, COP(Crystal Originated Pits), ヘイズパターンを検出する装置です。

CHAC-3000

EDIS-3000

ECIS-3000

CHAC-3000 ｜ EDIS-3000 ｜ ECIS-3000