優れた欠陥検出アルゴリズムを適用しAir-pocket以外にもウェハ生産工程で発生しうるBump, Through-holeなどの欠陥を同時に検出することができます。
精密工学システムを利用してイメージのピクセル分解能を改善し、高い水準のイメージ処理アルゴリズムを多数適用し直径20㎛の微細な欠陥ももれなく検出できる超精密検出システムを具現化しました。
検出されたイメージは欠陥自動判定アルゴリズムで欠陥の種類が自動的に分類され、良／不良判定が自動的に行われます。
ADEC(Automatic Defect Classification)アルゴリズムは優れたパターン認識アルゴリズムを適用し、高い水準の信頼度を提供します。