IIM-2010は200mm Si waferの全ての欠陥を検出し、各欠陥の大きさを測定する装置です。IIM-2010が検知できる欠陥の種類は次の通りです。
Buried Air-Pocket, Surface Bump, Through Holeなどの欠陥の検知及び分類アルゴリズムを通してオペレーターはたくさんの量を処理することができ、様々なタイプのSiウェハ(N-, N+, N++, P-, P+, P++)の全ての欠陥を簡単に検知することができます。
ウェハの汚染を防ぐためにウェハの接触部には非金属材料が使用されています。