IWS-3000はキャリアの間で300ｍｍウェハを移動させる装置です。必要に応じてフリップロボットを搭載しウェハを反転させることができます。
Open Cassette, FOSB, FOUPのいずれも使用可能で、使用するキャリアの種類(Open, FOSB, FOUP)を自動で区別しオペレーターによるミスを防止することができます。