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제품 상세

IMS-3000


IMS-3000はキャリアの間で300ｍｍウェハを移動させる装置です。必要に応じてフリップロボットを搭載しウェハを反転させることができます。
Open Cassette, FOSB, FOUPのいずれも使用可能で、使用するキャリアの種類(Open, FOSB, FOUP)を自動で区別しオペレーターによるミスを防止することができます。

제품 이미지 및 사양

IMS-3000-4L(4Load Port) ｜ IMS-3000-2L(2Load Port)

제품 상세 이미지 및 추가설명

Detail view

Specification

Use 2 Load port

1 wafer transfer robot (single arm, Edge handling, Wafer flip option)

FFU, Ionizer, RFID-Reader

Support FOUP, FOSB, Open Cassette

Auto recognition of Carrier type (FOUP, FOSB, Open Cassette)

Logging Cassette Information

Wafer Flip Function