3-1. Final Sorter

应用8Load Port、7Load Port-1F、4/2Load Port IWS-3000-8L（8个晶圆装卸机）、IWS-3000-7L1F（7个晶圆装卸机1个翻盖机）反转机器人可反转晶圆。 Open Cassette、FOSB、FOUP均可使用，使用的载体类型（Open、FOSB、FOUP）可自动区分如下。 防止操作者出错。

IWS-3000(8Load Port)

IWS-3000(7Load Port 1Flipper)

IMS-3000(4Load Port)

IMS-3000(2Load Port)

IWS-3000(8Load Port) ｜ IWS-3000(7Load Port 1Flipper) ｜ IMS-3000(4Load Port) ｜ IMS-3000(2Load Port)

3-2. Cu-haze, Edge/DSOD, Edge/Cu-haze

CHAC-3000、EDIS-3000和ECIS-3000是检测SiWaferEdge缺陷和Surface的HazePattern、COP(CrystalOriginatedPits)、Haze Pattern的设备。

CHAC-3000

EDIS-3000

ECIS-3000

CHAC-3000 ｜ EDIS-3000 ｜ ECIS-3000