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제품 분류 상단 설명

Edge/Surface Inspection Equipment

300mm / 200mm Silicon wafer Edge/Surface Inspection Equipment

제품 분류 상단 설명

ESIS-3000是Edge/Notch/Surface,EIS-3000是进行Edge/Notch检查的设备,执行客户想要的功能。
压倒性的技术差异可以检测晶圆中的各种Defects。 另外,通过与国内企业进行多种技术合作,在全球竞争中也以先发制人的市场领导吸引众多顾客的满足。
如果使用本产品,可以看到此前未知的多种形态的Defects。

Edge Defects

Classification Contamination / Crack / Chip

Notch Defects

Illumination control (Upper Bevel/Lower Bevel/Apex)

Surface Defects

Pin Hole / PIT / Particle

제품 목록

ESIS-3000

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EIS-3000

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추구하는 인재상

我们检测出之前顾客无法检测到的一个小Defect,
为了能够生产完美的Wafer,各种技术发展的努力一刻也不停歇。