"IWS-3000是在载流子之间移动300mm晶片的装置。 必要时可应用反转机器人对晶圆进行反转。
Open Cassette、FOSB、FOUP均可使用，可自动区分使用的行李箱种类（Open、FOSB、FOUP），防止作业者出现失误。